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什么是真空壓力表及應(yīng)用

更新時間:2024-05-27      瀏覽次數(shù):932

真空壓力表是測量低于大氣壓的負(fù)壓的壓力測量裝置。

壓力測量儀表有壓力表、復(fù)合表真空表三種,真空表稱為真空壓力表。這些測量儀表中的每一種都有不同的可以測量的壓力范圍:壓力表只能測量正壓,復(fù)合表可以測量有限范圍的正壓和負(fù)壓,真空表只能測量負(fù)壓。

因此,使用真空計測量負(fù)壓以外的任何東西時必須小心,因為這可能會導(dǎo)致故障。

真空壓力表的應(yīng)用

真空壓力表用于半導(dǎo)體制造設(shè)備、冶金、有機合成和其他實驗設(shè)備的等離子蝕刻空間。其他應(yīng)用包括離子束設(shè)備、蒸發(fā)設(shè)備和需要表面清潔度的加工設(shè)備。

當(dāng)執(zhí)行涉及從管道中排出空氣以形成真空然后向管道填充氣體的工作時,請使用真空壓力表測量真空度。一個常見的使用示例是安裝新空調(diào)時。

通過僅向空調(diào)管道填充冷卻氣體,空調(diào)可以無gu障地運行。


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