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日本TORAY東麗用于半導(dǎo)體的氧氣分析儀

描述:日本TORAY東麗用于半導(dǎo)體的氧氣分析儀LC-450D
測量原理/選型/維護(hù)基礎(chǔ)

  • 產(chǎn)品型號:LC-450D
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2025-01-16
  • 訪問量:432
產(chǎn)品介紹/ PRODUCT PRESENTATION
品牌TORAY/東麗應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子/電池,電氣,綜合

日本TORAY東麗用于半導(dǎo)體的氧氣分析儀LC-450D

日本TORAY東麗用于半導(dǎo)體的氧氣分析儀LC-450D


測量原理/選型/維護(hù)基礎(chǔ)


氧化鋯氧氣濃度計(jì)測量原理

氧化鋯陶瓷的兩面均加工有電極,有在高溫下一側(cè)電極電離氧分子,另一側(cè)電極將氧離子還原成氧分子的特性。這種性質(zhì)稱為離子傳導(dǎo),離子傳導(dǎo)程度隨著氧化鋯陶瓷兩側(cè)氧濃度差的增大而增大。在此期間,電子在兩個電極之間交換,離子傳導(dǎo)的程度(=氧化鋯陶瓷兩側(cè)的氧濃度差)可以被提取為兩個電極之間的電動勢的大小。如下圖所示,根據(jù)能斯特理論公式可以得到這個電動勢的穩(wěn)定值,因此東麗氧化鋯傳感器可以提供穩(wěn)定可靠的氧氣濃度值。

使用氧化鋯氧氣濃度計(jì)的一般注意事項(xiàng)

氧化鋯氧氣濃度計(jì)可在約 700℃ 的高溫下工作。因此,在以下情況下,可能無法進(jìn)行測量,并且可能會影響傳感器的壽命。
  • 由于氧氣濃度計(jì)內(nèi)部有電爐,因此不能在安裝氣氛為防爆的區(qū)域使用。

  • 如果可燃?xì)怏w(如氫氣、甲烷、酒精、一氧化碳等)進(jìn)入氧氣計(jì)內(nèi)部,會發(fā)生燃燒反應(yīng),導(dǎo)致測量誤差。

  • 有機(jī)二氧化硅(用于密封劑等)會導(dǎo)致傳感器劣化。(這是傳感器劣化的最常見原因之一。

  • 鹵素(尤其是氯)會導(dǎo)致傳感器故障。

  • 如果一氧化碳等熱值較高的物質(zhì)間歇性地混入傳感器中,則會接收熱歷史并導(dǎo)致傳感器故障。

  • 如果混入大量Nox、Sox等腐蝕性氣體,會導(dǎo)致傳感器故障。

  • 氟利昂氣體在高溫下可能會引起分離反應(yīng),導(dǎo)致傳感器劣化。

  • 水滴、灰塵和霧氣可能會損壞傳感器、縮短其使用壽命并導(dǎo)致錯誤。測量含有這些氣體的氣體時,請?jiān)趯⑵淞魅胙鯕鉂舛扔?jì)之前先將其除去。購買前請咨詢我們有關(guān)去除方法。

選型圖

如果您在選擇型號時遇到困難,請參考下表。

目的兼容型號解釋其他選項(xiàng)
半導(dǎo)體、液晶、
電子元件
MS-500用于安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備等上,最多可測量8點(diǎn)
LC-450A兼容 ppm 級測量,交流電源類型
  • 活性炭過濾器

  • 硅過濾器

  • 過濾棉

LC-450D支持ppm級測量,DC電源類型
LC-860兼容 ppb 級測量,交流電源類型
SD/LD-450真空室安裝型(用于設(shè)備集成)交流電源裝置:DU-450
燒成爐/
氮?dú)饣亓骱?
廢氣
RF-400具有氧傳感器保護(hù)功能的烘烤爐/回流焊專用機(jī)
  • 活性炭過濾器

  • 硅過濾器

  • 過濾棉

LC-750H/PC-111內(nèi)置抽氣泵,適用于中高濃度污濁氣體
天然氣裝置/
空氣分離
LC-750H中/高濃度通用型
LC-750H/PC-110內(nèi)置抽氣泵,適用于中高濃度清潔氣體
LC-750L低濃度通用型
LC-750L/PC-120內(nèi)置抽氣泵,適用于低濃度清潔氣體
真空沉積/
密封爐/
手套箱
SD/LD-450分離式傳感器/轉(zhuǎn)換器型、薄壁安裝轉(zhuǎn)換器交流電源裝置:DU-450
食品包裝LC-450F用于充氣后取樣檢查(取樣探頭)
  • 活性炭入口

  • 頂空進(jìn)樣器

LC-750F用于充氣后取樣檢查(注射器)
LF-200用于安裝在氣體灌裝自動包裝機(jī)上
  • 活性炭過濾器

  • 過濾棉





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